20 世紀(jì) 80 年代，電子產(chǎn) 業(yè)的興起推動(dòng)特種氣體的需求提高，隨著氣體供應(yīng)商供氣模式的引入，國內(nèi) 企業(yè)原有的氣體車間、氣體廠和供氣站等紛紛發(fā)展為獨(dú)立的氣體公司，國內(nèi)特種氣體市 場逐步發(fā)展起來。電子特種氣體是集成電路、平板顯示、發(fā)光二極管、太陽能電池等半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)制造過程中不可或缺的關(guān)鍵性化工材料，被廣泛的應(yīng)用 于清洗、刻蝕、成膜、摻雜等工藝。特種氣體分類：從應(yīng)用領(lǐng)域劃分，特種氣體主要有電子氣體、高純氣體和標(biāo)準(zhǔn)氣體三種，廣泛應(yīng)用 于電子半導(dǎo)體、化工、環(huán)保和高裝備制造等領(lǐng)域。
滅菌特種氣體可殺滅細(xì)菌（及其內(nèi)孢子）、霉菌及真菌，因此可用于消毒一些不能耐受高溫消毒的物品。特種氣體的儲存注意事項(xiàng)：儲存高壓氣體≥300m，液化氣≥3000kgs時(shí)，儲存場所需要經(jīng)過縣級以上相關(guān)單位批準(zhǔn)。高壓容器儲存場所出入口及顯眼處，需設(shè)有安全警示牌。特種氣體主要包括高純氣體、電子氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體三大類，電子特種氣體（簡稱電子特氣）是特種氣體的 一個(gè)重要分支，是超大規(guī)模集成電路（IC）、平面顯示器件（LCD、LED、OLED）、太陽能電池等電子工業(yè)生產(chǎn)不 可或缺的原材料。
特種氣體在太陽能電池中的應(yīng)用：晶體硅電池片生產(chǎn)中的擴(kuò)散工藝用 到 POCl3 和 O2，減反射層 PECVD 工藝用到 SiH4、NH3，刻蝕工藝用到 CF4；特種氣體的儲存注意事項(xiàng)：為防止高壓容器跌倒、滾落、損壞、閥門泄漏等造成安全隱患，存放場地需平坦，操作需謹(jǐn)慎、輕柔；并用鏈條、繩索等將其固定在靠墻等堅(jiān)固位置。特種氣體的重要性：正是因?yàn)殡娮託怏w在集成電路制造中的使用量大，應(yīng)用范圍廣的特點(diǎn)。所以電子氣體直接決定了芯片制造的良率 與可靠性等等。所以電子氣體也被譽(yù)為集成電路制造中的“血液”。
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